主動隔振光學(xué)平臺使產(chǎn)品具有更低的共振頻率應(yīng)用于掃描探針顯微鏡，共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統(tǒng)，三維形狀測量機(jī)，激光位移測量系統(tǒng)，除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。

　　平臺能發(fā)揮出除振性能、制振性能等，緊湊的機(jī)身集成了自由度的主動除振機(jī)構(gòu)，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境，這款機(jī)器可以發(fā)揮技術(shù)領(lǐng)域所要求的高精度及高分解能，小巧輕便的桌面型主動隔振臺，負(fù)載能力強(qiáng)大，隔振效果突出。

　　主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機(jī)構(gòu)和主動隔振器，每個支撐里面一般會有4個主動隔振器和一臺主控箱，主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅(qū)動器，通過原理驗證試驗證明了改變節(jié)流孔徑的大小可以有效地抑制共振放大，但同時發(fā)現(xiàn)在高頻段的振動隔離能力受到了一定的影響。高頻振動隔離能力的削弱主要來自彈簧和附加氣室的整體連接，導(dǎo)致高頻振動所產(chǎn)生的微弱壓力差生成的微小氣體量在附加氣室間來回流動，導(dǎo)致產(chǎn)生阻尼，影響了高頻隔振能力。

　　主動隔振光學(xué)平臺是一種隔除振動的工作平面，它利用自身的固有頻率能有效避開環(huán)境振動所產(chǎn)生的共振現(xiàn)象，控制振幅放大，減少振動傳遞率，消除環(huán)境振動對使用精度的影響，廣泛應(yīng)用于光學(xué)測試、激光掃描、激光干涉和光學(xué)制造等科研和教學(xué)領(lǐng)域中，適用于全息技術(shù)、光譜實驗技術(shù)、精密檢測技術(shù)、現(xiàn)代光學(xué)、激光技術(shù)、集成電子學(xué)、生物及光纖等工程領(lǐng)域。