主動隔振光學(xué)平臺安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會有振動，而這些振動將可能對電干涉儀等精密儀器設(shè)備造成不利影響，導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)不等。

       隔振臺，又稱減振臺或減震臺，即是消除這些振動有效的解決方案，是科學(xué)研究當(dāng)中常用的一種光學(xué)平臺，用于搭載各類高精度顯微鏡，干涉儀，輪廓儀，摩擦學(xué)，高精度計(jì)量等精密儀器設(shè)備，以消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，以便營造適合該精密設(shè)備的實(shí)驗(yàn)環(huán)境條件。

　　1.什么是主動隔振臺

　　主動隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動,傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力，防震臺的主動隔振頻率為0.7Hz-200Hz，被動隔振頻率>200Hz， 其期能夠整合到現(xiàn)有的需要低頻隔振的設(shè)備中，主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；允許自由選擇整個(gè)系統(tǒng)的尺寸和配置，可通過增加隔振模塊的數(shù)量來支持更大的儀器載重量。安裝簡單，易操作，穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年。

　　2、什么是被動隔振臺

　　被動隔振臺以其*的柔和運(yùn)動，易于移動的形狀和適當(dāng)?shù)闹亓縼砦諅魅氲恼駝樱⑾恼駝幽芰窟M(jìn)行隔振。因此，諸如防振橡膠和空氣彈簧z類的柔軟材料以及可以輕柔移動的零件是被動隔振臺的重要元素。

　　主動隔振光學(xué)平臺采用高阻尼處理技術(shù)和超高性能空氣彈簧，*集成且使用簡單，適用于光學(xué)顯微鏡，干涉儀，輪廓儀等精密儀器，可以為用戶提供的被動隔振性能。主動隔振臺與被動隔振臺的區(qū)別兩者的區(qū)別在于隔振方法。被動隔振臺是由于材料特性(例如空氣彈簧)而使用抗損失性(粘滯性，空氣阻力等)的控件，而主動隔振臺是被動隔振臺控件的一部分，但使用振動(或振動)，該相位由控制系統(tǒng)進(jìn)行電子調(diào)節(jié)(反相)，該系統(tǒng)命令執(zhí)行器獲取由檢測傳感器獲得的傳感器信息。